正规配资炒股网站 曝光装置膜式减震器怎么设计_震动_液体_阻尼
标题:曝光装置不抖动正规配资炒股网站,关键在于膜式减震器!它是咋设计的?
精密曝光装置(比如光刻机)工作时,一点点震动都会让成像糊掉!这时就需要“膜式减震器”这个安静卫士。
它核心就两点:软膜 + 阻尼液。
软膜当家: 减震器里有一层或几层特制的高强度柔性薄膜(想想韧性极好的橡胶片),把装置稳稳托住。这层膜是关键,就像一张智能弹簧床垫。
液体缓冲: 薄膜下面或层间充满了特殊的粘稠液体(阻尼液)。当外界震动传来:
膜先变形: 震动能量让软膜发生弹性形变,吸收第一波冲击。
液体摩擦: 膜变形挤压或搅动阻尼液正规配资炒股网站,液体内部产生巨大摩擦,把剩余的震动能量转化成热量消耗掉。
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